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產品詳情
六氟化鉬（MoF6），相對分子量為209.93，熔點為17.5℃，沸點為35℃，低溫下為白色塊狀結晶，對濕空氣敏感。在強氧化劑存在下，六氟化鉬能侵蝕許多金屬（金、鉑除外），使金屬表面變為藍色。六氟化鉬可用于鉬的同位素分離，在電子工業中用作化學氣相淀積硅化鉬或鉬，以制作低電阻、高熔點的互連線和柵極。
產品指標
氮氣Nitrogen (N2)≤ | Vol.ppm | 50 | 1 | 0.5 |
(氧+氬) Oxygen+ Argon. (O2+Ar)≤ | Vol.ppm | 50 | 0.5 | 0.5 |
二氧化碳Carbon dioxide (CO2) ≤ | Vol.ppm | - | 0.5 | 0.5 |
一氧化碳Carbon monoxide (CO)≤ | Vol.ppm | - | 0.5 | 0.5 |
六氟化硫Sulfur hexafluoride (SF6) ≤ | Vol,ppm | 10 | 0.5 | 0.5 |
四氟化硅Silicon tetrafluoride (SiF4) ≤ | Vol.ppm | 10 | 0.5 | 0.5 |
氟化氫Hydrogen fluoride (HF) s | Vol.ppm | 800 | 1 | 1 |
產品用途：
六氟化鉬的主要應用領域是在微電子工業中用化學氣相沉積硅化鉬或鉬，以制作低電阻、高熔點的互連線，也可用作強氟化劑、成膜材料及離子摻雜劑，還可用于鉬同位素分離。
包裝、貯存：
六氟化鉬充裝在鋼質無縫氣瓶中，鋼瓶容積分別為8L和47L，具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。六氟化鉬儲存干陰涼、干燥、通風良好的庫房中，遠離火種、熱源。儲區應備有泄漏應急處理設備。
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